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詳細信息

主要技術參數

◆結構型式：臥式熱壁型

◆工作溫度范圍：300～1280℃

◆恒溫區長度及精度：±0.5℃/1080mm

◆氣體流量設定精度:±1％F.S

◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆控制方式：工業微機控制

◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制

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