以場(chǎng)發(fā)射 (FE) 電子槍為特色的JEOL電子探針顯微分析儀（ EPMA），帶來了表面分析的革命。JXA-8530F在繼承了JXA-8500F的強(qiáng)力硬件（包括 FE 電子槍、電子光學(xué)系統(tǒng)和真空系統(tǒng)）的同時(shí)，采用電腦操作進(jìn)行數(shù)據(jù)的采集和分析，實(shí)現(xiàn)了微區(qū)分析。友好的PC控制操作環(huán)境，使得在的放大倍數(shù)下能夠便利地進(jìn)行快速、便捷的分析。 - PC平臺(tái)操作 - 用FE電子槍進(jìn)行高空間分辨率成像 - “Click Point Analysis”功能和用戶菜單（User,s recipe） - 先進(jìn)的操作 - WD/ED組合系統(tǒng)