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石墨坩堝 SIC高純石墨坩堝 6英寸襯底

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碳化硅(SiC)緣何成為第三代半導體重要的材料?

我司石墨坩堝均使用高純等靜壓石墨加工,具有良好的熱導性和耐高溫性,在高溫使用過程中,熱膨脹系數小,對急熱、急冷具有抗應變性能。對酸,堿性溶液的抗腐蝕性較強,具有優良的化學穩定性。

具體型號均可來圖來樣定制,材料有國產石墨和進口石墨,滿足客戶的不同需求。

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